In der neuen Fabrik von X-FAB in Erfurt – einer sogenannten Microsystems Fab – werden künftig mithilfe von innovativen Fertigungsverfahren mikroelektromechanische Systeme (MEMS) und heterogen integrierte Systeme auf Waferlevel produziert. Gedacht sind sie unter anderem für den Einsatz in der Automobilindustrie, der Medizintechnik oder auch im industriellen Bereich. Die PORR wurde mit der Planung und Errichtung der neuen Fabrik beauftragt. Zum Auftrag gehören eine Reinraumproduktionsfläche von ca. 3.500 m², ein direkt angeschlossener Bürotrakt sowie die Einbindung der Fabrik in den bestehenden Standort.

„Der Markt für Halbleiterchips wächst unaufhörlich, getrieben durch die künstliche Intelligenz, aber auch Zukunftstechnologien wie autonomes Fahren. Das wiederum sorgt auch bei uns für Wachstum, denn der Bedarf an Reinräumen wächst“, sagt PORR CEO Karl-Heinz Strauss. Mit ihrem Chips Act hat die EU-Kommission mehr als EUR 52 Mrd. an öffentlichen und privaten Investitionen mobilisiert. Laut SEMI World Fab Forecast sollen die globalen Ausgaben für Fab-Equipment bis 2027 um 9 % auf USD 166 Mrd. steigen. 

Schwingungsanforderungen und Ausfallssicherheit 

„Reinräume stellen ganz besondere Anforderungen an Planung und Bau“, erläutert Strauss. Zum einen müssen sie praktisch erschütterungsfrei sein: Sie müssen massiv gebaut werden, damit etwa Vibrationen aus dem Straßenverkehr nicht die Produktionsmaschinen erreichen. Sie müssen zudem ausfallssicher sein, da der Betrieb das ganze Jahr über 24/7 läuft. Terminlich sind sie oft herausfordernd: Die einzelnen Gewerke sind eng getaktet. Besonders hoch sind die Anforderungen an die Arbeitssicherheit.

„Die Anforderungen werden laufend höher“, so Strauss. So werden die Strukturen, die auf die Chips geätzt werden, zunehmend kleiner und komplexer. Zudem werden die Erwartungen an die Energieeffizienz höher, mittlerweile ist etwa die Wiederverwendung der Abwärme mithilfe von Wärmerückgewinnung und der Einsatz von PV-Anlagen Standard.

Die PORR hat mittlerweile jahrzehntelange Erfahrung in der Realisierung von Reinräumen für die Halbleiter- und die Biotechindustrie. Sie hat bereits mehrere 100.000 m² an Reinräumen errichtet und sich als Komplettanbieterin etabliert, die in der Lage ist, von der Planung bis zum „Hook-Up“ der Maschinen und der Inbetriebnahme Reinräume schlüsselfertig zu übergeben. Zu den Kunden gehören unter anderem Infineon Technologies, ams OSRAM und Bayer.